真空泵的作用是產生負壓，從而增加制動力。利用機械、物理、化學或物理化學的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設備。通俗來講，真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產生和維持真空的裝置。按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分為兩種類型，即氣體捕集泵和氣體傳輸泵。機械式容積真空泵：通過機械運動使泵腔工作容積周期變化實現抽氣，包括往復式、旋轉式機械泵（旋片式、螺桿式、羅茨式、液環(huán)式等）。

射流式真空泵：無機械運動部件，靠噴嘴高速射流抽真空，包括水蒸氣噴射泵、空氣噴射泵、水噴射泵及擴散泵等。

按性能特點和用途：

低真空泵：極限壓力高于102Pa，如往復式、旋轉式、液環(huán)式、噴射式及吸附式真空泵。

中真空泵：極限壓力在102～10?1Pa，如羅茨真空泵、多級噴射式、多級旋轉機械真空泵及高速旋轉式機械真空泵。

高真空泵：極限壓力在10?1～10??Pa，如擴散泵及分子泵。

超高真空泵：極限壓力低于10??Pa，如離子泵、低溫泵。

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