CAT高壓泵需要選用其進(jìn)口的氣動(dòng)隔膜泵，有效的抽吸吸濃酸濃堿，這樣不但提高了設(shè)備的完好率，降低了設(shè)備的修補(bǔ)率，更重要的就是降低了工作的本強(qiáng)，體外循環(huán)系統(tǒng)，可有用減少能耗。S04Q10Q

很多潛在的工藝問(wèn)題均與布局有關(guān)。化學(xué)機(jī)械面化（ChemicalMechanicalPlanarization，CMP）中的凹陷和浸蝕、金屬版印刷的光學(xué)近似效應(yīng)（OpticalProximityEffects）、蝕刻負(fù)載（EtchLoading）以及許多其他的工藝特性都隨著特征密度（FeatureDensity）而改變。過(guò)程工藝（ViaProcess）取決于主要層的特性，以及其本身的布局堆棧式（stacked）或非堆棧式（unstacked）。